隨著半導(dǎo)體、電子行業(yè)的技術(shù)發(fā)展，對(duì)水處理設(shè)備的需求也越來越廣泛，國(guó)內(nèi)外超純水設(shè)備的技術(shù)也獲得了飛速的發(fā)展和廣泛的應(yīng)用，涌現(xiàn)出一大批超純水處理方面領(lǐng)域的公司企業(yè)，。目前國(guó)內(nèi)的超純水制備行業(yè)正處于快速的發(fā)展階段，但是相比國(guó)外的發(fā)展水平仍有很大的差距。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)線的普及，超純水制備設(shè)備的需求越來越大，目前國(guó)內(nèi)的現(xiàn)代超純水水質(zhì)以電阻率、TOC（總有機(jī)碳）、細(xì)菌、微粒、DO（溶解氧）、可溶硅、離子和金屬雜質(zhì)等參數(shù)來表征，它們對(duì)器件影響大。因此，這就需要設(shè)計(jì)一臺(tái)能夠制備滿足指標(biāo)要求的浸沒液超純水處理系統(tǒng)，以保證光刻機(jī)的正常運(yùn)行。超純水處理系統(tǒng)是制備超純水的自動(dòng)控制系統(tǒng)，在光刻機(jī)中它作為浸沒控制系統(tǒng)中的子模塊，主要負(fù)責(zé)對(duì)超純水的制備，對(duì)超純水污染物質(zhì)進(jìn)行處理，并達(dá)到浸沒供給液各項(xiàng)指標(biāo)要求。
EDI超純水設(shè)備工作原理：
EDI工作原理如圖所示。EDI膜塊中將一定數(shù)量的EDI單元用格板隔開，形成濃水室和淡水室。又在單元兩端設(shè)置陰/陽電極。在直流電的推動(dòng)下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別透過陰陽離子交換膜遷移到濃水室而在淡水室中去除。如下圖：
電場(chǎng)使進(jìn)水中的水分子在離子交換樹脂界面離解成H+及OH-，并不斷地再生淡水室中陰、陽離子交換樹脂。離子交換樹脂中的陰、陽離子在再生過程中受到相應(yīng)正負(fù)電極的吸引，透過陽、陰離子交換樹脂向所對(duì)應(yīng)的離子膜的方向遷移。當(dāng)這些離子透過交換膜進(jìn)入濃室后，H+及OH-重新結(jié)合成水。這種H+及OH-的產(chǎn)生、湮滅及陰、陽離子遷移正是離子交換樹脂得以實(shí)現(xiàn)連續(xù)再生的機(jī)理。
EDI超純水設(shè)備組成部分：
1、淡水室將離子交換樹脂填充在陰、陽離子交換膜之間形成淡水室
2、濃水室在相鄰淡水單元的陰陽離子交換膜之間添加樹脂，形成濃水室；
3、極水室在電極板與相鄰離子交換膜中間添加樹脂，形成極水室。
一個(gè)膜塊中有正、負(fù)兩個(gè)極水室；
4、絕緣板和壓緊板
5、電源及水路連接
超純水處理設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域：
（1）工業(yè)制造業(yè)
需要超純水的工業(yè)行業(yè)主要包括電子、電力、石油化工等。在電子行業(yè)中，半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、微電子行業(yè)、大規(guī)模及超大規(guī)模集成電路需要用大量的超純水清洗成品和半成品。在電力生產(chǎn)中，發(fā)電系統(tǒng)的發(fā)電循環(huán)效率取決于系統(tǒng)中水蒸氣的溫度和壓力，且納、氯化物或二氧化硅等污染物易引起渦輪機(jī)葉片的腐蝕和污染。在石油化工行業(yè)中，高純水主要應(yīng)用于油田注入水、化工反應(yīng)冷卻水、化學(xué)藥劑、化肥及精細(xì)加工、化妝品制造、電鍍行業(yè)清洗水、電池行業(yè)溶劑用水。
（2）消費(fèi)品行業(yè)
超純水主要應(yīng)用在食品及制藥行業(yè)。隨著環(huán)境污染的加劇和人們對(duì)健康要求的不斷提高，食品、飲料行業(yè)用水的水質(zhì)要求也隨之提高，高純水在食品飲料行業(yè)得到越來越廣泛的應(yīng)用，如飲用純凈水、飲料、酒類等生產(chǎn)用水、飲料的無菌灌裝、原材料的運(yùn)輸與清洗、工作場(chǎng)所和設(shè)備的高壓清洗等。
醫(yī)藥在人們的生活中起著至關(guān)重要的作用，醫(yī)療用水水質(zhì)的好壞直接影響著治療水平，關(guān)系到病人的生命安全。早在1990年我國(guó)出版的《中華人民共和國(guó)藥典》二部便規(guī)定了醫(yī)用蒸餾水、注射用水和無菌注射用水等三種醫(yī)藥用水的要求，規(guī)定了十一項(xiàng)指標(biāo)：PH、氯化物、硝酸鹽和亞硝酸鹽、硫酸鹽、鈣鹽、氮、二氧化碳、易氧化物質(zhì)、不揮發(fā)物質(zhì)、重金屬及熱源?？梢姵兯卺t(yī)藥行業(yè)的重要性。
（3）實(shí)驗(yàn)室用水
在生命科學(xué)的基礎(chǔ)研究和醫(yī)藥工程以及醫(yī)院的臨床、制藥、生理、生化、化學(xué)、物理的各個(gè)領(lǐng)域都直接或間接需要使用超純水，細(xì)胞或組織培養(yǎng)、試管嬰兒、醫(yī)院化驗(yàn)分析、各種針劑和藥劑的配制稀釋用水。
藍(lán)膜專注于環(huán)保水處理產(chǎn)品與服務(wù)的創(chuàng)新與整合，經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品包括水處理設(shè)備、過濾器、濾膜、水處理樹脂及行業(yè)解決方案等。具有完整的環(huán)保水處理系統(tǒng)集成和全面的技術(shù)服務(wù)綜合能力，并提供7*24小時(shí)的優(yōu)質(zhì)服務(wù)。
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